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静电卡盘产业:专利质量有待提升

随着二氧化碳和大气污染物排放的日益增多,“绿色照明”理念应运而生。其中,LED照明具有耗电低、能源转化效率高、寿命长、体积小、抗震动、易维护等诸多优点,成为照明史上继白炽灯、荧光灯、高压气体放电灯之后的又一重大技术突破。

  在LED照明产品的制造环节,金属有机化合物气相沉积(MOCVD)设备是主要的生产设备,而静电卡盘则是MOCVD设备的重要零部件,起着固定和支撑晶片的作用。静电卡盘采用静电引力固定晶片,相对于机械卡盘和真空吸盘,具有很多优势。

  为了解静电卡盘的技术研发情况,笔者在中国专利检索数据库进行了专利文献检索,检索日期截至2015年5月31日。随后,笔者对静电卡盘领域的年专利申请量变化、专利申请人情况等进行了统计分析,以期为我国静电卡盘行业的发展和专利布局提供借鉴。

  笔者进行中国专利文献检索发现,2002年至2014年,申请人在该领域共提交了155件专利申请。2005年之前,该领域的专利申请量较少,且全部为国外申请人提交的专利申请。国外申请人在中国的专利布局起步早,但专利申请数量并不多。2005年,该领域的专利申请量最多,达到21件;2005年至2012年,该领域每年的专利申请量维持在9件至21件之间。值得一提的是,2005年、2007年和2012年的专利申请量均达到或超过20件。这一时期,国内申请人提交了大量专利申请,比如2005年,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(下称北方微电子)专利申请量为13件,占当年专利申请总量的60%以上。

  在静电卡盘领域的所有申请人中,中国申请人以65件专利申请排在第一位,占专利申请总量的41.9%。排名第二和第三的是日本和美国申请人,申请量分别为40件和38件,占比分别为25.8%和24.5%,韩国申请人的申请量为10件,占专利申请总量的6.4%,这4个国家占据了静电卡盘领域中国专利申请的绝大部分。值得注意的是,国内申请人的专利申请量虽然多于日美韩,但大部分技术并未在其他国家和地区进行专利保护,而国外申请人的专利申请均是通过《专利合作条约》(PCT)或《保护工业产权巴黎公约》途径进入中国的专利申请,由此可见,国内申请人在国际市场的专利保护意识不强,这也可能与公司的市场定位有关。

 

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  笔者对静电卡盘领域的专利申请人进行了分析,从上图可以看出,排名前十位的主要申请人的专利申请量共为110件,占该领域专利申请总量的71%,这体现出静电卡盘领域的技术集中性。其中,国内申请人北方微电子、中微半导体以及清华大学分别位列第一位、第五位和第七位(清华大学和日本爱发科、日本住友并列第七位)。北方微电子的专利申请量为38件,优势非常明显。作为国内领先的高端半导体设备制造企业,北方微电子研发的MOCVD等核心产品得到广泛应用,这些产品大都使用了静电卡盘,这也促使北方微电子不断加大在静电卡盘领域的技术研发力度,并持续加强专利布局。2010年之前,北方微电子在该领域的专利申请主要涉及静电卡盘的结构;2010年之后,北方微电子的专利申请主要涉及温度控制、气体传输等方面。温度控制技术是静电卡盘的核心技术,由此可以看出,北方微电子的研究方向已从外围部件向核心技术转移。

  近十年来,在静电卡盘领域,中国的年专利申请量比较稳定,维持在15件左右。由于静电卡盘产业具有很强的专业性与技术性,在该领域提交专利申请的企业比较集中,中国的申请人主要是北方微电子和中微半导体,美国的申请人主要是美国应用材料和朗姆研究院。从上述分析可以看出,相比美国和日本,中国申请人的专利申请量虽然占优,但领先优势并不明显,中国申请人提交的专利申请有一部分是实用新型专利申请,而国外申请人提交的专利申请大都是发明专利申请,且专利申请的授权率较高。目前,中国出台了一系列政策,大力发展LED产业,笔者建议,国内企业应把握机遇,加强技术创新的同时,在该领域进行比较全面的专利布局,以期获得更好的专利保护,从而占据更大的市场份额。 (知识产权报 作者 高铭洁)


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点击次数:  更新时间:2015-10-22 13:51:00  【打印此页】  【关闭